半导体领域:纯铟在半导体中用作薄膜层,铟靶材可用于制造高速电动机的轴承涂层,使润滑油均匀分布,还可用于半导体器件的制造,如集成电路、芯片等。
先进封装技术
应用:在芯片倒装焊(Flip Chip)中作为焊料或热界面材料,实现芯片与基板的电气连接和热传导。
特点:低熔点(156.6℃)和高可靠性,适用于精密电子器件的低温封装。
精密制造与特殊材料领域
1. 高端轴承与涂层
用途:在航空发动机、精密机床的轴承表面溅射铟涂层,降低摩擦系数,提高润滑性能和抗磨损能力。
场景:飞机涡轮轴承、光刻机精密运动部件等。
2. 低熔点合金与焊料
成分:铟与锡、铅、镓等金属组成的共晶合金(如 In-Sn 合金,熔点约 118℃)。
应用:用于电子元件的低温焊接、热敏感器件的封装,以及核工业中的熔断保护装置。
溅射气体控制
气体纯度:使用高纯氩气(99.999% 以上),避免氧气、水汽混入导致铟靶氧化(氧化铟导电性下降,易形成电弧放电)。
气压调节:
直流溅射(DC):气压通常为 0.1~10 Pa,低气压下溅射速率高但薄膜致密度低;高气压下薄膜均匀性好但沉积速率慢。
射频溅射(RF):适用于绝缘基底,气压可略高于直流溅射,需根据薄膜厚度要求动态调整。