集成电路(IC)制造
用途:作为金属互连层或接触电极材料,用于芯片内部的导电线路、晶体管电极等关键部位。
优势:铟的低熔点和高延展性使其易于加工成极薄的薄膜,满足纳米级制程对材料精度的要求。
航空航天与国防科技
1. 红外探测与成像
用途:在红外焦平面阵列(IRFPA)中作为芯片互连材料(如铟柱倒装焊),实现探测器芯片与读出电路的高密度连接。
场景:军用夜视仪、卫星遥感设备、热成像仪等。
2. 高温真空器件
应用:在航空航天用真空电子器件(如行波管、磁控管)中作为密封材料或电极镀膜,利用铟的低蒸气压和抗腐蚀特性。
安装前预处理
表面清洁:
用无水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指纹及氧化层(可用无尘布蘸取溶剂沿同一方向擦拭,避免来回摩擦)。
若靶材表面有轻微氧化,可用细砂纸(800~1200 目)轻轻打磨,再用去离子水冲洗并干燥。
靶材检查:
确认靶材无裂纹、孔洞或脱落(铟质地软,运输或安装时易磕碰损伤)。
检查靶材与靶架的适配性(如尺寸公差、导电性接触点),确保安装牢固。
防护措施
个人防护:操作时佩戴防静电手套、护目镜,避免直接接触铟靶(铟金属,但粉尘吸入可能刺激呼吸道,需在通风良好环境下操作)。
防火防爆:铟粉或碎屑属于可燃固体(引燃温度约 200℃),需远离明火,废弃靶材及碎屑应收集于专用容器中,按危险废弃物处理。
电磁屏蔽:射频溅射时需确保设备接地良好,防止电磁辐射对操作人员或周边仪器的干扰。