半导体领域:纯铟在半导体中用作薄膜层,铟靶材可用于制造高速电动机的轴承涂层,使润滑油均匀分布,还可用于半导体器件的制造,如集成电路、芯片等。
光学领域:用于制造反射率与银镜一样高但不会褪色的镜,还可用于制造其他光学器件,如滤光片、光通信器件等。
其他领域:可用于制造低熔点合金,如 24%铟和 76%镓的合金在室温下为液态,此外,还可用于制造整流器、热敏电阻和光电导体等电气组件。
航空航天与国防科技
1. 红外探测与成像
用途:在红外焦平面阵列(IRFPA)中作为芯片互连材料(如铟柱倒装焊),实现探测器芯片与读出电路的高密度连接。
场景:军用夜视仪、卫星遥感设备、热成像仪等。
2. 高温真空器件
应用:在航空航天用真空电子器件(如行波管、磁控管)中作为密封材料或电极镀膜,利用铟的低蒸气压和抗腐蚀特性。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。