半导体领域:纯铟在半导体中用作薄膜层,铟靶材可用于制造高速电动机的轴承涂层,使润滑油均匀分布,还可用于半导体器件的制造,如集成电路、芯片等。
显示领域:广泛应用于液晶显示器(LCD)、有机发光二极管显示器(OLED)等显示器件的制造,用于形成透明导电薄膜,提高显示器的性能和质量。
科研与前沿技术
1. 量子计算与超导器件
探索应用:铟薄膜作为超导材料(如 In-Nb 合金),用于量子比特器件的制备,利用其超导电性实现低损耗量子信号传输。
2. 柔性电子与可穿戴设备
技术方向:在柔性电路板(FPC)、电子皮肤中作为可拉伸导电薄膜,利用铟的高延展性满足器件形变需求。
溅射时间与沉积厚度
厚度监控:使用石英晶体微天平(QCM)实时监测薄膜沉积速率,结合靶材消耗速率(约 0.1~0.5 μm/min,与功率相关),控制溅射时间。
靶材利用率:避免过度溅射导致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 时需及时更换),通常平面靶材利用率约 30%~40%,旋转靶可提升至 60% 以上。