物理特性:铟靶材呈银色光泽的灰色,熔点为 156.61℃,沸点 2060℃,密度 7.3 g/cm³。质地非常软,能用指甲刻痕,可塑性强,有良好的延展性,可压成片。
化学特性:铟具有较好的化学稳定性,但在一些特定的环境下,如高温、强酸碱等条件下,可能会发生化学反应。铟化合物在真空下蒸发,能够在电子产品和光伏电池生产中形成薄膜。
粉末冶金法:通过将铟粉末在高温下压制和烧结成型,可有效控制杂质含量,能制造出形状复杂的靶材,制得的靶材具有较高的致密度和均匀性。
熔炼法:将铟材料加热至熔点以上,使其成为液态,然后通过铸模或其他成型工艺制造靶材,该方法简单快捷,但控制纯度和均匀性相对较难。
安装前预处理
表面清洁:
用无水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指纹及氧化层(可用无尘布蘸取溶剂沿同一方向擦拭,避免来回摩擦)。
若靶材表面有轻微氧化,可用细砂纸(800~1200 目)轻轻打磨,再用去离子水冲洗并干燥。
靶材检查:
确认靶材无裂纹、孔洞或脱落(铟质地软,运输或安装时易磕碰损伤)。
检查靶材与靶架的适配性(如尺寸公差、导电性接触点),确保安装牢固。
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