物理特性:铟靶材呈银色光泽的灰色,熔点为 156.61℃,沸点 2060℃,密度 7.3 g/cm³。质地非常软,能用指甲刻痕,可塑性强,有良好的延展性,可压成片。
化学特性:铟具有较好的化学稳定性,但在一些特定的环境下,如高温、强酸碱等条件下,可能会发生化学反应。铟化合物在真空下蒸发,能够在电子产品和光伏电池生产中形成薄膜。
集成电路(IC)制造
用途:作为金属互连层或接触电极材料,用于芯片内部的导电线路、晶体管电极等关键部位。
优势:铟的低熔点和高延展性使其易于加工成极薄的薄膜,满足纳米级制程对材料精度的要求。
先进封装技术
应用:在芯片倒装焊(Flip Chip)中作为焊料或热界面材料,实现芯片与基板的电气连接和热传导。
特点:低熔点(156.6℃)和高可靠性,适用于精密电子器件的低温封装。
安装前预处理
表面清洁:
用无水乙醇或丙酮擦拭靶材表面,去除油污、指纹及氧化层(可用无尘布蘸取溶剂沿同一方向擦拭,避免来回摩擦)。
若靶材表面有轻微氧化,可用细砂纸(800~1200 目)轻轻打磨,再用去离子水冲洗并干燥。
靶材检查:
确认靶材无裂纹、孔洞或脱落(铟质地软,运输或安装时易磕碰损伤)。
检查靶材与靶架的适配性(如尺寸公差、导电性接触点),确保安装牢固。